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簡要描述：keithley4200-SCP2HR 200MS Dual-Channel Oscilloscope Card 高分辨率開關(guān)矩陣擴(kuò)展模塊
產(chǎn)品型號(hào)：4200-SCP2HR廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-08-13訪 問 量：1085詳細(xì)介紹
| 品牌 | Keithley/美國吉時(shí)利 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
Keithley 4200-SCP2HR 是 吉時(shí)利（Keithley）4200-SCS 半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng) 的 高分辨率開關(guān)矩陣擴(kuò)展模塊，專為 晶圓級(jí)測試、多器件并行測量和高精度信號(hào)路由 而設(shè)計(jì)。作為 4200-SCP2 系列 的升級(jí)版本，"HR"（High Resolution）代表其 增強(qiáng)的信號(hào)完整性和低噪聲特性，適用于 納米器件、低維材料、MEMS傳感器等精密測試場景。
矩陣規(guī)模：支持 2×16 或 4×16 配置（可根據(jù)需求擴(kuò)展）。
通道數(shù)：最多 64 個(gè)高精度繼電器通道，支持 多器件并行測試。
低熱電動(dòng)勢設(shè)計(jì)：采用 鍍金觸點(diǎn)繼電器，熱電動(dòng)勢 <1μV，確保 微小信號(hào)傳輸精度。
低噪聲路徑：
通道間串?dāng)_ <0.1pF（典型值）。
路徑電阻 <2Ω（確保高電流測試準(zhǔn)確性）。
屏蔽保護(hù)：
每個(gè)通道配備 Guard保護(hù)端子，減少漏電流干擾。
支持 三線測量（Force-Sense-Guard），適合高阻測量（如柵極漏電流測試）。
模塊化設(shè)計(jì)：可插入 4200-SCS 主機(jī)，與其他模塊（如4210-SMU、4210-CVU）協(xié)同工作。
多模式支持：
掃描模式：自動(dòng)切換通道，實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)位測試。
并行模式：同時(shí)連接多個(gè)被測器件（DUT），提高測試效率。
兼容性：
與 4200-SCS 軟件無縫集成，支持圖形化測試流程配置。
可通過 SCPI 命令或 TSP®腳本控制。
接口支持：
GPIB、LAN、USB 遠(yuǎn)程控制。
配套 Keithley KickStart 軟件快速配置。
多芯片并行測試：通過開關(guān)矩陣快速切換探針，實(shí)現(xiàn)晶圓上不同器件的自動(dòng)化測量。
參數(shù)分布分析：掃描晶圓表面，繪制電學(xué)參數(shù)（如閾值電壓、漏電流）的空間分布圖。
石墨烯/碳納米管器件：高阻測量時(shí)避免信號(hào)衰減。
量子點(diǎn)器件：微弱電流（f）的精確路由。
多傳感器陣列：同步監(jiān)控多個(gè)傳感器的響應(yīng)信號(hào)。
高精度激勵(lì)-測量：為MEMS提供低噪聲測試環(huán)境。
HTOL（高溫工作壽命）：多器件長時(shí)間監(jiān)測。
TDDB（介質(zhì)擊穿）：自動(dòng)切換測試點(diǎn)位。
| 參數(shù) | 規(guī)格 |
|---|---|
| 矩陣配置 | 2×16 或 4×16（可擴(kuò)展） |
| 通道數(shù) | 最大64通道 |
| 繼電器類型 | 鍍金觸點(diǎn)，低熱電動(dòng)勢（<1μV） |
| 路徑電阻 | <2Ω（典型值） |
| 最大開關(guān)電壓 | 200V DC |
| 最大開關(guān)電流 | 1A（連續(xù)） |
| 通道間隔離 | >1GΩ（100V時(shí)） |
| 兼容系統(tǒng) | 4200-SCS 半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng) |
| 特性 | 4200-SCP2HR | 4200-SCP2 |
|---|---|---|
| 信號(hào)完整性 | 優(yōu)化屏蔽與Guard設(shè)計(jì)，更低噪聲 | 標(biāo)準(zhǔn)屏蔽 |
| 熱電動(dòng)勢 | <1μV | <5μV |
| 適用場景 | 納米器件、f測量 | 常規(guī)半導(dǎo)體測試 |
| 價(jià)格 | 較高 | 較低 |
基礎(chǔ)配置：
4200-SCS 主機(jī)
4210-SMU（源測量單元）
4200-SCP2HR 開關(guān)矩陣
擴(kuò)展需求：
4210-CVU（電容測試）：用于MOS電容掃描。
4200-PA（前置放大器）：增強(qiáng)微弱信號(hào)檢測。
附件：
低噪聲測試線纜。
屏蔽測試夾具（用于高阻測量）。
Keithley 4200-SCP2HR 是 高分辨率開關(guān)矩陣擴(kuò)展模塊 面向半導(dǎo)體和納米器件測試的專業(yè)開關(guān)矩陣，其 高分辨率、低噪聲和靈活的路由能力 使其成為：
優(yōu)良制程研發(fā) 的工具
低維材料研究 的理想選擇
晶圓級(jí)自動(dòng)化測試 的核心模塊
對于需要 高精度、多通道并行測試 的應(yīng)用場景，4200-SCP2HR 提供了 信號(hào)完整性 和 測試效率 的優(yōu)良平衡。如需更詳細(xì)的技術(shù)資料，建議訪問 Keysight Technologies 或聯(lián)系當(dāng)?shù)丶夹g(shù)支持。
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